@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018178,
 author = {余, 祖元 and 増沢, 隆久 and 藤野, 正俊},
 issue = {12},
 journal = {生産研究},
 month = {Dec},
 note = {小特集 マイクロマシン},
 pages = {609--611},
 title = {特集3 : 研究速報 : 三次元微細キャビティの放電加工 : 微細金型の製作},
 volume = {49},
 year = {1997}
}