@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018233,
 author = {川勝, 英樹 and 佐谷, 大輔 and ラバシェルリ, ミッシェル ド and ウマディ, ムサ},
 issue = {9},
 journal = {生産研究},
 month = {Sep},
 note = {特集 先進プロダクションテクノロジー},
 pages = {446--447},
 title = {特集15 : 研究速報 : ナノメートルオーダの機械振動子の作成方法と特性測定},
 volume = {49},
 year = {1997}
}