@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018234,
 author = {藤井, 透 and 今堀, 克彦 and ブロイレル, ハネス and 川勝, 英樹},
 issue = {9},
 journal = {生産研究},
 month = {Sep},
 note = {特集 先進プロダクションテクノロジー},
 pages = {448--449},
 title = {特集16 : 研究速報 : 結晶格子を用いた段差測定},
 volume = {49},
 year = {1997}
}