@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018294,
 author = {石黒, 仁揮 and 藤井, 呂如 and 橋口, 原 and 生駒, 俊明 and 平本, 俊郎},
 issue = {3},
 journal = {生産研究},
 month = {Mar},
 pages = {174--177},
 title = {研究解説 : 異方性エッチングによるSi極微細MOSFETの作製と室温におけるクーロンブロケード振動の観測},
 volume = {49},
 year = {1997}
}