@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018412,
 author = {横井, 秀俊 and 村田, 泰彦 and 山口, 龍善},
 issue = {4},
 journal = {生産研究},
 month = {Apr},
 note = {特集 先進プロダクションテクノロジー},
 pages = {266--269},
 title = {特集12 : 研究速報 : 半導体パッケージング過程の画像計測},
 volume = {48},
 year = {1996}
}