@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018528,
 author = {重里, 有三 and 安井, 至},
 issue = {7},
 journal = {生産研究},
 month = {Jul},
 pages = {349--352},
 title = {研究速報 : 活性化蒸着法によるITO薄膜の表面モフォロジーに関する研究},
 volume = {47},
 year = {1995}
}