@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018609, author = {丁, 海島 and 中川, 威雄}, issue = {12}, journal = {生産研究}, month = {Dec}, note = {特集 プロダクションテクノロジー}, pages = {647--650}, title = {特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工}, volume = {46}, year = {1994} }