@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018617, author = {川勝, 英樹 and ブロイレル, ハネス and 斉藤, 孝史 and 八尋, 威久}, issue = {12}, journal = {生産研究}, month = {Dec}, note = {特集 プロダクションテクノロジー}, pages = {679--681}, title = {特集15 : 研究速報 : レーザー光を基準に用いた磁気浮上機構 : 5自由度制御型磁気浮上リニアスライダ}, volume = {46}, year = {1994} }