@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018618,
 author = {藤井, 透 and 鈴木, 正敏 and 樋口, 俊郎 and 鴻上, 弘 and 川勝, 英樹},
 issue = {12},
 journal = {生産研究},
 month = {Dec},
 note = {特集 プロダクションテクノロジー},
 pages = {682--685},
 title = {特集16 : 研究速報 : 校正用光波干渉計を備えた結晶格子基準段差測定平行バネSTM},
 volume = {46},
 year = {1994}
}