@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018619, author = {水野, 毅 and ブロイレル, ハネス and 田中, 博昭 and 橋本, 秀紀 and 原島, 文雄 and 上山, 拓知}, issue = {12}, journal = {生産研究}, month = {Dec}, note = {特集 プロダクションテクノロジー}, pages = {686--689}, title = {特集17 : 研究速報 : センサレス磁気軸受のターボ分子ポンプへの応用}, volume = {46}, year = {1994} }