@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018664,
 author = {川勝, 英樹 and 樋口, 俊郎 and 鴻上, 弘},
 issue = {7},
 journal = {生産研究},
 month = {Jul},
 note = {小特集 マイクロメカトロニクス研究グループ},
 pages = {376--379},
 title = {特集3 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 100ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定},
 volume = {46},
 year = {1994}
}