@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018666,
 author = {斉藤, 秀典 and 藤田, 博之},
 issue = {7},
 journal = {生産研究},
 month = {Jul},
 note = {小特集 マイクロメカトロニクス研究グループ},
 pages = {384--387},
 title = {特集5 : 研究速報 : 微小なマッハツェンダー干渉計によるマイクロアクチュエータ制御用変位センサー},
 volume = {46},
 year = {1994}
}