@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018753,
 author = {宇都野, 太 and 安井, 至},
 issue = {12},
 journal = {生産研究},
 month = {Dec},
 note = {小特集 先端素材開発研究センター},
 pages = {828--835},
 title = {特集4 : 研究解説 : リアクティブスパッタリング法によるセラミックス系薄膜の合成},
 volume = {45},
 year = {1993}
}