@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018756, author = {谷, 泰弘 and 仙波, 卓弥 and 佐藤, 壽芳}, issue = {12}, journal = {生産研究}, month = {Dec}, note = {小特集 先端素材開発研究センター}, pages = {846--853}, title = {特集7 : 研究解説 : 超音波顕微鏡による加工変質の評価}, volume = {45}, year = {1993} }