@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018773, author = {篠嶋, 妥 and 山本, 良一}, issue = {10}, journal = {生産研究}, month = {Oct}, note = {小特集 知的材料設計}, pages = {715--722}, title = {特集5 : 研究解説 : 薄膜成長プロセスの計算機シミュレーション}, volume = {45}, year = {1993} }