@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018831, author = {谷, 泰弘 and 池野, 順一}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産加工プロセスの先進技術}, pages = {379--384}, title = {特集3 : 研究解説 : 超微細砥粒を用いたナノメータ研削}, volume = {45}, year = {1993} }