@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018844, author = {川勝, 英樹 and 川合, 稔 and 渡邊, 道仁 and 西沖, 暢久}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産加工プロセスの先進技術}, pages = {444--447}, title = {特集16 : 研究速報 : 原子間力顕微鏡の力制御の多自由度化}, volume = {45}, year = {1993} }