@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018845, author = {川勝, 英樹 and ブロイレル, ハネス and 渡邊, 道仁}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産加工プロセスの先進技術}, pages = {448--450}, title = {特集17 : 研究速報 : レーザー光を基準に用いた磁気浮上装置 : 5自由度能動制御型リニアスライダ}, volume = {45}, year = {1993} }