@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019111,
 author = {谷, 泰弘 and 大島, 孝郎 and 佐藤, 壽芳 and 上村, 康幸},
 issue = {9},
 journal = {生産研究},
 month = {Sep},
 pages = {405--408},
 title = {研究速報 : 磁気ディスクアルミニウム基板加工用弗素樹脂多孔質真空チャックの開発 : 第1報 チャックとしての基礎特性},
 volume = {43},
 year = {1991}
}