@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019144,
 author = {藤田, 大介 and 小池, 義彦 and 本間, 禎一},
 issue = {6},
 journal = {生産研究},
 month = {Jun},
 pages = {293--296},
 title = {研究速報 : 昇温脱離法によるAl合金膜中のガス分析},
 volume = {43},
 year = {1991}
}