@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019248,
 author = {榊, 裕之},
 issue = {8},
 journal = {生産研究},
 month = {Aug},
 note = {小特集　材料複合化による新機能の創製},
 pages = {459--465},
 title = {特集3 : 研究解説 : 量子マイクロ構造半導体における形成技術と機能創製 : 原子層制御から立体量子構造へ},
 volume = {42},
 year = {1990}
}