@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019269,
 author = {佐藤, 壽芳 and 大堀, 真敬},
 issue = {6},
 journal = {生産研究},
 month = {Jun},
 note = {特集　生産加工システムの先進技術},
 pages = {301--311},
 title = {特集2 : 研究解説 : 走査電子顕微鏡による表面形状測定},
 volume = {42},
 year = {1990}
}