@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019567, author = {樋口, 俊郎 and 岡, 宏一 and 菅原, 宏}, issue = {10}, journal = {生産研究}, month = {Oct}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {512--515}, title = {特集14 : 研究速報 : 磁気軸受を利用したクリーンルーム用ロボットの開発}, volume = {40}, year = {1988} }