@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019570, author = {粉川, 良平 and 佐藤, 壽芳}, issue = {10}, journal = {生産研究}, month = {Oct}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {524--527}, title = {特集17 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡を用いた非球面形状測定法に関する研究}, volume = {40}, year = {1988} }