@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019644, author = {藤田, 博之 and 面高, 秋人 and 原田, 昌信 and 田中, 秀郎 and 大谷, 淳一}, issue = {3}, journal = {生産研究}, month = {Mar}, pages = {152--155}, title = {研究速報 : 静電アクチュエータの解析と拡大モデルによる性能評価}, volume = {40}, year = {1988} }