@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019680, author = {小林, 敏雄 and 松本, 裕昭}, issue = {1}, journal = {生産研究}, month = {Jan}, note = {特集 乱流の数値シミュレーション(NST) その4}, pages = {83--86}, title = {特集18 : 研究速報 : LPCVD法における希薄気体流れの数値予測}, volume = {40}, year = {1988} }