@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019749, author = {佐藤, 壽芳}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {201--208}, title = {特集1 : 研究解説 : 超精密非接触表面形状測定法について}, volume = {39}, year = {1987} }