@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019750, author = {樋口, 俊郎}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {209--214}, title = {特集2 : 研究解説 : クリーンルーム用アクチュエータ}, volume = {39}, year = {1987} }