@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019755, author = {大堀, 真敬 and 佐藤, 壽芳}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {237--240}, title = {特集7 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡(SEM)による表面形状測定の研究 : 反射電子信号から形状信号の分離について}, volume = {39}, year = {1987} }