@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019858,
 author = {前田, 正史},
 issue = {9},
 journal = {生産研究},
 month = {Sep},
 pages = {425--433},
 title = {研究解説 : 高純度シリコンのマーケットとその製造技術},
 volume = {38},
 year = {1986}
}