@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019996,
 author = {田中, 雅明 and 榊, 裕之 and 吉野, 淳二},
 issue = {11},
 journal = {生産研究},
 month = {Nov},
 note = {特集 生産・加エシステムの最適化},
 pages = {477--480},
 title = {特集9 : 研究速報 : 分子線エピタキシーによる GaAs-AlAs超薄膜へテロ構造における単原子スケールの界面凹凸とその平坦化},
 volume = {37},
 year = {1985}
}