@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019997, author = {佐藤, 壽芳 and 大堀, 真敬}, issue = {11}, journal = {生産研究}, month = {Nov}, note = {特集 生産・加エシステムの最適化}, pages = {481--484}, title = {特集10 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡(SEM)による表面形状測定 : 法線検出法による}, volume = {37}, year = {1985} }