@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020078, author = {村上, 周三 and 加藤, 信介 and 田中, 幸彦 and 宗像, 康光}, issue = {4}, journal = {生産研究}, month = {Apr}, pages = {147--150}, title = {研究速報 : クリーンルーム内の浮遊微粒子計測法に関する研究 : エアロゾル濃度制御供給装置の開発を中心として}, volume = {37}, year = {1985} }