@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020199,
 author = {佐藤, 壽芳 and 大堀, 真敬},
 issue = {2},
 journal = {生産研究},
 month = {Feb},
 note = {特集　生産・加工システムの最適化},
 pages = {86--89},
 title = {特集7 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡（SEM）を用いた表面粗さ測定 : ディジタル方式による},
 volume = {36},
 year = {1984}
}