@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020200, author = {佐藤, 壽芳 and 榊, 裕之 and 大堀, 真敬 and 関口, 芳信}, issue = {2}, journal = {生産研究}, month = {Feb}, note = {特集 生産・加工システムの最適化}, pages = {90--92}, title = {特集8 : 研究速報 : SEM による粗さ測定の較正法とその応用}, volume = {36}, year = {1984} }