@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020608, author = {佐藤, 壽芳 and 大堀, 真敬}, issue = {11}, journal = {生産研究}, month = {Nov}, note = {特集:生産・加工システムの最適化}, pages = {530--532}, title = {特集5 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡(SEM)を用いた表面粗さ測定の基礎研究}, volume = {32}, year = {1980} }