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特集8 : 研究速報 : イオン線誘起電流(IBIC)を用いたイオン ･エッチング過程の新しいモニタ一法（1）
http://hdl.handle.net/2261/37629
http://hdl.handle.net/2261/3762951a78813-e356-4d53-bd06-92eacf073b80
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk032011008.pdf (371.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-10-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集8 : 研究速報 : イオン線誘起電流(IBIC)を用いたイオン ･エッチング過程の新しいモニタ一法（1） | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Ion-Beam-Induced-Current (IBIC) Monitoring of Uniform and Selective lon-Etching Processes ln Layered Structures（1） | |||||
| 著者 |
榊, 裕之
× 榊, 裕之× 横山, 幸嗣× 関口, 芳信× 今井, 勇次 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 41524 | |||||
| 姓名 | Sakaki, Hiroyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 41525 | |||||
| 姓名 | Yokoyama, Koji | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 41526 | |||||
| 姓名 | Sekiguchi, Yoshinobu | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 41527 | |||||
| 姓名 | Imai, Yuji | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第3部 超短波工学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集：生産・加工システムの最適化 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 32, 号 11, p. 540-543, 発行日 1980-11-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 530 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
