@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020612,
 author = {榊, 裕之 and 横山, 幸嗣 and 関口, 芳信 and 今井, 勇次},
 issue = {11},
 journal = {生産研究},
 month = {Nov},
 note = {特集：生産・加工システムの最適化},
 pages = {540--543},
 title = {特集8 : 研究速報 : イオン線誘起電流(IBIC)を用いたイオン ･エッチング過程の新しいモニタ一法（1）},
 volume = {32},
 year = {1980}
}