@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020726, author = {古山, 直行 and 石田, 洋一 and 清水, 肇}, issue = {1}, journal = {生産研究}, month = {Jan}, pages = {19--22}, title = {研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性}, volume = {32}, year = {1980} }