@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00021322, author = {三井, 公之 and 佐藤, 壽芳}, issue = {4}, journal = {生産研究}, month = {Apr}, note = {application/pdf}, pages = {169--172}, title = {研究速報 : 光点変位法による表面あらさの実時間測定装置の試作について}, volume = {27}, year = {1975} }