@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00002210, author = {三木, 浩史}, month = {Mar}, note = {application/pdf}, title = {極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究}, year = {1990} }