@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00003232,
 author = {角屋, 豊},
 month = {Jul},
 title = {超高真空一貫プロセスにおける化合物半導体のエッチング過程と再成長界面に関する研究},
 year = {1996}
}