@techreport{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00041318, author = {中村, 誠吾}, month = {}, note = {application/pdf, 指導教員;越, 光男}, title = {シリコンCVDプロセスにおける製膜前駆体に関する研究}, year = {2006} }