@techreport{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00041367,
 author = {百瀬, 健},
 month = {},
 note = {application/pdf, 指導教員；霜垣, 幸浩},
 title = {ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築},
 year = {2006}
}