@techreport{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00041811, author = {井上, 茂}, month = {}, note = {application/pdf, 指導教員: 藤岡, 洋}, title = {PLD法による金属基板上への窒化物半導体薄膜の成長}, year = {2006} }