@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049578,
 author = {平本, 俊郎 and 高橋, 信義 and 石黒, 仁揮 and 齋藤, 真澄},
 issue = {2},
 journal = {生産研究},
 month = {Feb},
 note = {マイクロマシン特集号},
 pages = {116--118},
 title = {研究解説 : 異方性エッチングにより作製したシリコン単電子トランジスタの室温動作},
 volume = {53},
 year = {2001}
}