@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049585,
 author = {山下, 幸一 and 藤田, 博之 and 年吉, 洋},
 issue = {2},
 journal = {生産研究},
 month = {Feb},
 note = {マイクロマシン特集号},
 pages = {143--146},
 title = {研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定},
 volume = {53},
 year = {2001}
}