@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049710, author = {川勝, 英樹}, issue = {2}, journal = {生産研究}, month = {}, note = {特集 マイクロ・ナノメカトロニクス}, pages = {151--155}, title = {研究解説 : プローブ顕微法へのナノマシーニングの応用}, volume = {54}, year = {2002} }