@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049717,
 author = {上村, 康幸 and 谷, 泰弘 and 渡部, 和 and 佐藤, 壽芳},
 issue = {3},
 journal = {生産研究},
 month = {},
 note = {特集 プロダクションテクノロジー},
 pages = {182--185},
 title = {研究速報 : 二焦点レンズを用いたシリコンウェーハの厚み測定},
 volume = {54},
 year = {2002}
}