@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049719,
 author = {新野, 俊樹 and 塚本, 英隆},
 issue = {3},
 journal = {生産研究},
 month = {},
 note = {特集 プロダクションテクノロジー},
 pages = {190--193},
 title = {研究速報 : 並進方向に非拘束な自由度を持つ真空対応静電浮上装置の試作},
 volume = {54},
 year = {2002}
}